प्रक्रिया कूलिंग वॉटर सिस्टममध्ये खालील भाग असतात: चिलर, पंप, हीट एक्सचेंजर्स, पाण्याच्या टाक्या, फिल्टर आणि प्रक्रिया उपकरणे.
वॉटर चिलर: कूलिंग वॉटर सिस्टमसाठी थंड स्रोत प्रदान करा.
पाण्याचा पंप: कूलिंग सिस्टीममध्ये पाण्याचे अभिसरण सुनिश्चित करण्यासाठी दाब द्या.
हीट एक्सचेंजर: या उपकरणाचा वापर थंडगार पाणी प्रणाली आणि थंडगार पाण्याच्या प्रणालीमध्ये उष्णतेची देवाणघेवाण करण्यासाठी सिस्टमच्या लोड एंडवर निर्माण होणारी उष्णता थंड पाण्याच्या प्रणालीमध्ये हस्तांतरित करण्यासाठी करा.उष्मा एक्सचेंजर्सचे अनेक प्रकार आहेत, जे त्यांच्या फॉर्मनुसार शेल-आणि-ट्यूब प्रकार, प्लेट प्रकार, प्लेट-फिन प्रकार, उष्णता पाईप प्रकार इत्यादींमध्ये विभागले जाऊ शकतात.त्या तुलनेत, प्लेट हीट एक्सचेंजरमध्ये लहान फूटप्रिंट आणि मोठ्या उष्णता हस्तांतरण क्षेत्राचे फायदे आहेत.च्या जागेची आणि क्षेत्राची किंमत वैशिष्ट्ये लक्षात घेऊनच्यासेमीकंडक्टर प्लांट, जमिनीचे क्षेत्रफळ आणि अभियांत्रिकी खर्च वाचवण्यासाठी लहान फुटप्रिंट असलेल्या उपकरणांना प्राधान्य दिले जाते.
पाण्याची टाकी: खुल्या प्रणालीतील पाण्याची टाकी मुख्यत्वे जलस्त्रोतांना पूरक म्हणून भूमिका बजावते.बंद प्रणालीतील पाण्याच्या टाकीला विस्तारित पाण्याची टाकी निवडणे आवश्यक आहे.विस्तारित पाण्याच्या टाकीची तीन कार्ये आहेत.एक म्हणजे प्रणालीमध्ये पाण्याचा विस्तार आणि आकुंचन समाविष्ट करणे आणि त्याची भरपाई करणे;दुसरे म्हणजे बंद परिसंचरण जल प्रणालीला स्थिर दाब प्रदान करणे आणि सिस्टम स्थिरीकरणात भूमिका बजावणे;तिसरे म्हणजे सिस्टीम वॉटर पंपचे संकेत म्हणून, सामान्यतः विस्तार टाकी सिस्टीम वॉटर पंप सुरू किंवा बंद करण्यासाठी सिग्नल पाठवते.
फिल्टर: घन कण फिल्टर कराप्रक्रियेत दोन तुलनेने स्वतंत्र प्रणाली आहेत थंड पाणी प्रणाली, थंड पाणी आणि थंड पाणी.थंडगार पाणी चिलरद्वारे दिले जाते आणि थंड केलेले पाणी आणि थंड पाणी थंड पाण्याला थंड करण्यासाठी आणि उपकरणांचे तापमान कमी करण्यासाठी उष्णता विनिमय करतात.थंड पाण्याचे प्रमाण नियंत्रित करून थंड पाण्याच्या प्रक्रियेचे तापमान सुनिश्चित करण्यासाठी वॉटर पंपद्वारे उत्पादन उपकरणांमधून पाणी उष्मा एक्सचेंजरमध्ये पंप केले जाते आणि नंतर फिल्टर पास केल्यानंतर उत्पादन लाइन उपकरणांकडे पाठवले जाते आणि नंतर परत पाण्याचा पंप.निर्मिती प्रक्रिया थंड पाणी वारंवार फिरते.थंड केलेले पाणी थेट चिलरमध्ये परत येते.