स्वयंचलित तापमान आणि आर्द्रता नियंत्रण

स्वच्छ खोलीचे तापमान आणि आर्द्रता प्रामुख्याने प्रक्रियेच्या आवश्यकतांनुसार निर्धारित केली जाते, परंतु प्रक्रियेच्या आवश्यकता पूर्ण केल्या जातील अशा स्थितीत, मानवी आराम विचारात घेतले पाहिजे.हवेच्या स्वच्छतेच्या गरजा वाढल्याने, तापमान आणि आर्द्रता या प्रक्रियेसाठी अधिकाधिक कठोर आवश्यकता असल्याचा कल आहे.

मशीनिंगची अचूकता जसजशी अधिक बारीक होत आहे तसतसे तापमान चढउतार श्रेणीची आवश्यकता कमी होत चालली आहे.उदाहरणार्थ, मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट उत्पादनाच्या लिथोग्राफी एक्सपोजर प्रक्रियेत, डायाफ्रामची सामग्री म्हणून काच आणि सिलिकॉन वेफरच्या थर्मल विस्तार गुणांकातील फरक लहान आणि लहान असणे आवश्यक आहे.100μm व्यासासह एक सिलिकॉन वेफर जेव्हा तापमान 1 अंशाने वाढते तेव्हा 0.24μm चा रेखीय विस्तार होतो.म्हणून, त्याचे स्थिर तापमान ±0.1 अंश असणे आवश्यक आहे.त्याच वेळी, आर्द्रता मूल्य सामान्यतः कमी असणे आवश्यक आहे, कारण एखाद्या व्यक्तीला घाम फुटल्यानंतर, उत्पादन प्रदूषित होईल, विशेषत: सेमीकंडक्टर कार्यशाळेसाठी जे सोडियमपासून घाबरतात, अशा प्रकारच्या स्वच्छ कार्यशाळेचे तापमान 25 अंशांपेक्षा जास्त नसावे.

जास्त आर्द्रतेमुळे अधिक समस्या निर्माण होतात.जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 55% पेक्षा जास्त असेल, तेव्हा कूलिंग वॉटर पाईपच्या भिंतीवर संक्षेपण होईल.ते एखाद्या अचूक उपकरणात किंवा सर्किटमध्ये आढळल्यास विविध अपघात होतात.जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 50% असते तेव्हा गंजणे सोपे होते.याव्यतिरिक्त, जेव्हा आर्द्रता खूप जास्त असते, तेव्हा सिलिकॉन वेफरच्या पृष्ठभागावरील धूळ हवेतील पाण्याच्या रेणूंद्वारे पृष्ठभागावर रासायनिकरित्या शोषली जाते, जी काढणे कठीण असते.सापेक्ष आर्द्रता जितकी जास्त असेल तितके आसंजन काढून टाकणे अधिक कठीण आहे, परंतु जेव्हा सापेक्ष आर्द्रता 30% पेक्षा कमी असते, तेव्हा इलेक्ट्रोस्टॅटिक शक्तीच्या क्रियेमुळे कण देखील पृष्ठभागावर सहजपणे शोषले जातात आणि मोठ्या प्रमाणात अर्धसंवाहक असतात. उपकरणे तुटण्याची शक्यता असते.सिलिकॉन वेफर उत्पादनासाठी सर्वोत्तम तापमान श्रेणी 35 ~ 45% आहे.